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更新時間：2025-07-14 
瀏覽次數：575干涉儀是通過測量光照射到物體上時產生的干涉現象來測量物體的表面形狀、折射率、尺寸等的裝置。
干擾是指多個波疊加、相互增強或抵消，從而產生新波形的現象。當多個波來自同一源頭，或具有相同或相似的頻率時，干擾最為明顯。
干涉儀有多種類型，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。
干涉儀的主要應用是對物體表面進行非接觸式觀察，包括玻璃、金屬、陶瓷等平板。玻璃的例子包括智能手機的蓋玻片、液晶顯示器的玻璃、分色光學系統中使用的棱鏡以及半導體掩模基板，金屬的例子包括模具和鋁盤。
此外，它還可以測量電子設備半導體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊材料。射電干涉儀還用于射電望遠鏡的天文觀測。
主干涉儀將光源發出的光分成兩束，一束光穿過樣品后，與另一束光發生干涉。此時，光路會根據穿過樣品的折射率和距離而變化，從而產生干涉條紋圖案。
通過分析這些干涉條紋的圖案，干涉儀可以測量樣品的表面形狀和透射波前形狀。干涉儀可以測量的最大尺寸為幾厘米到十幾厘米。如果樣品很大，則需要一些巧妙的技巧，例如將其切斷。
干涉儀既可以測量平面拋光表面，例如玻璃平板、晶圓和鏡子，也可以測量球面，例如光學透鏡、鋼球和塑料透鏡。此外，還有多軸干涉儀，可以在兩個或三個軸上進行測量，從而節省空間，提高測量靈敏度。
激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面，例如圓柱面。它們可用于測量玻璃、光纖端面、陶瓷、研磨金屬表面、注塑塑料等。干涉儀種類繁多，因此需要選擇 適合您應用的型號。
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